《微纳加工及在纳米材料与器件研究中的应用》顾长志 科学出版社 PDF电子教材 PDF电子书 大学教材电子版 电子课本 网盘下载(价值150元)【高清原版 非扫描版】

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图书简介:

本书简述微纳加工的主要方法及纳米材料与纳米器件研究中的应用,注重理论与实践的结合,包括光学曝光、电子束曝光、聚焦离子束加工、激光加工、纳米压印,刻蚀技术、薄膜技术等研究领域的应用,重点介绍各种微纳加工方法的产生根源与最新发展的趋势。

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